在顯著提升晶圓良率的同時(shí)，生產(chǎn)效率也穩(wěn)步提高，由上海福賽特智能設(shè)備有限公司獨(dú)立研發(fā)的國(guó)內(nèi)首款LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)今年量產(chǎn)，長(zhǎng)三角G60科創(chuàng)走廊研發(fā)成果填補(bǔ)了行業(yè)空白。

昨天下午，記者走進(jìn)上海福賽特智能設(shè)備有限公司生產(chǎn)車間，看見(jiàn)數(shù)十臺(tái)LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)一字排開(kāi)，技術(shù)人員正在對(duì)月底即將交付客戶的設(shè)備進(jìn)行最后的調(diào)試。這批設(shè)備具有獨(dú)立的潔凈空間，“實(shí)現(xiàn)了無(wú)人化操作，可最大程度提高產(chǎn)品品質(zhì)和良率，同時(shí)保證了產(chǎn)品信息可跟蹤可回溯。”該公司智能設(shè)備事業(yè)部副總經(jīng)理劉純君介紹說(shuō)，這批設(shè)備是交付給三安集團(tuán)的，三安集團(tuán)作為國(guó)內(nèi)LED晶圓制造業(yè)的龍頭企業(yè)，對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)要求很高。

劉純君告訴記者，此設(shè)備用在LED半導(dǎo)體外延工藝段，可實(shí)現(xiàn)晶圓從原料倉(cāng)至PVD（物理氣相沉積）工序之間以及PVD工序到MOCVD（金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積）工序之間的周轉(zhuǎn)。在福賽特推出此設(shè)備之前，這種周轉(zhuǎn)主要通過(guò)人工操作完成。人工操作引入的污染會(huì)對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)產(chǎn)生很大影響，因?yàn)槿藶槭д`造成的產(chǎn)品或載具損傷浪費(fèi)不小。而且，人工操作和周轉(zhuǎn)中斷了設(shè)備信息流和數(shù)據(jù)流，不利于產(chǎn)品信息追蹤及回溯。福賽特LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)的推出，解決了行業(yè)痛點(diǎn)。據(jù)介紹，該設(shè)備采用行業(yè)領(lǐng)先的潔凈機(jī)器人、先進(jìn)的激光傳感器和CCD，以及自主研發(fā)的載盤(pán)尋邊器等，配合自主研發(fā)的成熟先進(jìn)的信息化系統(tǒng)，可自動(dòng)與企業(yè)生產(chǎn)的“中樞神經(jīng)”MES系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)交互，形成“周圍神經(jīng)系統(tǒng)”，連接各個(gè)工藝段中的獨(dú)立設(shè)備系統(tǒng)，即“神經(jīng)末梢”，組成閉環(huán)的智能信息化系統(tǒng)。同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)上下片、晶圓尋邊、晶圓Wafer ID自動(dòng)讀取和校對(duì)、生產(chǎn)工單的解批和并批等。

“在集成電路半導(dǎo)體行業(yè)，晶圓倒片設(shè)備多數(shù)嵌入核心設(shè)備內(nèi)部，并由國(guó)外幾家大公司壟斷，其設(shè)備價(jià)格高昂，生產(chǎn)效率低下，無(wú)法滿足LED半導(dǎo)體行業(yè)的體量需求，所以LED半導(dǎo)體行業(yè)一直沒(méi)有合適的晶圓倒片解決方案。我們通過(guò)LED全制程分析，從LED外延段入手，目前第一款設(shè)備LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)已經(jīng)量產(chǎn)，PSS工藝段的第二款產(chǎn)品PSS自動(dòng)上片機(jī)已經(jīng)研制成功，目前我們正與國(guó)內(nèi)LED主設(shè)備龍頭企業(yè)洽談，擬合作研發(fā)嵌入式晶圓倒片模塊，支持新一代國(guó)產(chǎn)MOCVD和PVD設(shè)備的研制。”上海福賽特智能設(shè)備有限公司總經(jīng)理張丹說(shuō)。

“LED半導(dǎo)體晶圓倒片機(jī)中包含的機(jī)電設(shè)計(jì)、控制軟件、智能算法等十多項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)，都是由我們公司獨(dú)立自主研發(fā)的。這套設(shè)備的成功研制，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)在半導(dǎo)體行業(yè)高端設(shè)備領(lǐng)域的重大突破，打破了國(guó)外巨頭的長(zhǎng)期壟斷，填補(bǔ)了行業(yè)空白。”張丹說(shuō)。